我們的石墨膠黏合技術成熟、穩定,產品安全性更勝傳統的銦黏合,特點如下:

一、以奈米碳管為導電、導熱的介質,悉如銦綁定,不需更改製程設定。

二、耐強酸強鹼,在超過500°C的環境,我們的膠體没有任何變質,無碳化,也無任何溢氣産生,安全性高

三、常溫操作,所以在綁定過程中,陶瓷靶不會破裂,背板《特別是含水路的背板》也不會變形受損,散熱會更好。

四、對於需拼接的靶材,採無縫黏合《因膠的彈性可吸收材料的膨脹》,避免了放電的風險。

您的靶材如果有下的狀況,歡迎您與我們洽詢:

Q1: 必須使用高功率的靶材,如Si, C…,這類型的靶常被打到四分五裂、短路放電、銦鎔掉靶?
Ans:用我們的石墨膠就不會有上述現象,靶材打完也不太會裂(請參考下圖A)

Q2:用Al, Ti…等材質靶材,因用銦難綁定,容易脫靶?
Ans: 用我們的石墨膠就不會拖靶,因石磨膠的黏合力不隨材料種類改變。

Q3: 密度低的陶瓷靶,常在綁定過程中毀損;或因此背板變形不能處理;或因高溫過程有不良影響。
Ans: 我們的石磨膠是在常溫操作,不會對材料產生影響,也不會使背板變形;因無重壓整平程序,所以也不會使低密度的陶瓷靶毀損。

Q4: 能否降低綁定成本的壓力?
Ans: 我們的價格在銦綁定的6至8折(因銦價浮動),舊靶換新靶時,取下舊靶是免費的。

Q5: 為增加使用率,常把靶材打穿?
Ans: 我們的石磨膠對電漿沒反應,您無須擔心會像銦一樣汙染您的產品;對於背板,我們的石磨膠甚至能產生保護作用,不致傷到背板。(請參考下圖B)

Q6: 擔心昂貴的水路背板受損?
Ans: 低溫的處理程序,不僅背板不受損,水路也不會氧化影響散熱。